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什么是波長(zhǎng)掃描光源?

發(fā)布時(shí)間:2023-03-27 點(diǎn)擊量:979

 什么是波長(zhǎng)掃描光源?

波長(zhǎng)掃描的光源發(fā)出連續(xù)掃描波長(zhǎng)的激光。適合形狀 利用光學(xué)傳感OFDR(光頻域反射計(jì))進(jìn)行測(cè)量和位移測(cè)量 使用激光相干性的方法。OFDR方法也被廣泛稱(chēng)為FMCW(調(diào)頻 連續(xù)波)方法。

波長(zhǎng)掃描光源用作在精度等廣泛領(lǐng)域進(jìn)行傳感的光源 測(cè)量、振動(dòng)測(cè)量、表面檢測(cè)、OCT 等工業(yè)應(yīng)用、醫(yī)療應(yīng)用等 作為眼科OCT和血管內(nèi)OCT,基礎(chǔ)設(shè)施/工廠(chǎng)測(cè)量應(yīng)用,例如 大型結(jié)構(gòu)的位移/波動(dòng)和長(zhǎng)度測(cè)量。

安立的波長(zhǎng)掃描光源通過(guò)連續(xù)執(zhí)行來(lái)提供高相干波長(zhǎng)的掃描光 以及在具有窄線(xiàn)寬的單個(gè)縱向模式下進(jìn)行無(wú)跳模波長(zhǎng)掃描。這些掃過(guò)的光 光源可用于更遠(yuǎn)的距離和更高的精度進(jìn)行測(cè)量。

安立波長(zhǎng)掃描光源通過(guò)光學(xué)排列改進(jìn)了標(biāo)準(zhǔn)的利特曼排列,因此 MEMS掃描鏡可用于實(shí)現(xiàn)高速波長(zhǎng)掃描。在該光學(xué)系統(tǒng)中,該區(qū)域來(lái)自 MEMS掃描鏡反射面的有效空腔端面由外腔, 在由腔長(zhǎng)決定的多個(gè)垂直模式中,只有一種模式由波長(zhǎng)獲得 選擇衍射光柵的選擇性進(jìn)行振蕩。

安立掃光概述
安立波長(zhǎng)掃掠光源概述


下圖示意性地描繪了衍射光柵的波長(zhǎng)選擇性,由 MEMS掃描鏡,以及所選振蕩模式的變化。

安立掃頻光源的振蕩模式變化
安立波長(zhǎng)掃描光源的振蕩模式變化

特征

  • 中心波長(zhǎng):1,550 nm(也可以支持1060 nm)

  • 掃描頻率 : 150 Hz*1或 1,250 Hz*2

  • 波長(zhǎng)掃描寬度 : 15 至 70 nm*1或 30 至 110 nm*2

  • 平均光輸出功率:10 mW以上

  • 振蕩模式:?jiǎn)慰v向和無(wú)跳模

  • 相干長(zhǎng)度(參考值):100m以上*1(Δλ=25 nm), 10 m 或更長(zhǎng)*2(Dl=30 nm)

*1 AQB5500P/AQB5500D*2 AQA5500P/AQA5500D

應(yīng)用

精密厚度測(cè)量

  • 光學(xué)元件厚度測(cè)量:測(cè)量玻璃和透鏡等透明物體的厚度

  • 薄膜和鋼板的厚度測(cè)量和表面粗糙度測(cè)量

  • 半導(dǎo)體晶圓的厚度測(cè)量

振動(dòng)測(cè)量

  • 旋轉(zhuǎn)體振動(dòng)寬度測(cè)量:測(cè)量鉆頭和圓盤(pán)的偏心率和表面跳動(dòng), 等。

  • 振動(dòng)體振動(dòng)寬度測(cè)量和頻率測(cè)量:揚(yáng)聲器等

表面檢測(cè)

  • 檢測(cè)工件是否有毛刺和劃痕

  • 焊接表面的精細(xì)凸塊測(cè)量

OCT(光學(xué)相干斷層掃描)

OCT利用光學(xué)干涉對(duì)物體和人體內(nèi)部進(jìn)行斷層掃描,也可以 與光束掃描一起使用,以詳細(xì)測(cè)量三維結(jié)構(gòu)。它利用近紅外光來(lái)執(zhí)行 非破壞性和非接觸式成像,用于檢測(cè)薄膜產(chǎn)品的缺陷和檢測(cè) 用于眼科治療。

工業(yè)華僑城

  • 樹(shù)脂/塑料產(chǎn)品的厚度測(cè)量和粘合區(qū)域的檢查

  • 半導(dǎo)體晶圓的厚度測(cè)量

華僑城醫(yī)學(xué)

  • 眼軸長(zhǎng)度測(cè)量?jī)x(生物計(jì))

  • 血管內(nèi)OCT:比IVUS(血管內(nèi)超聲)更高分辨率的斷層掃描


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